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查看更多2024年1月17日 与之对应的七大类的生产设备包括:扩散炉、光刻机、刻蚀机、离子注入机、薄膜沉积设备(包括PECVD、LPCVD、ALD等)、化学机械抛光机、清洗机。 离子注 一个能打的都没有?SiC芯片制造关键设备再突破,实现 ...2024年1月17日 与之对应的七大类的生产设备包括:扩散炉、光刻机、刻蚀机、离子注入机、薄膜沉积设备(包括PECVD、LPCVD、ALD等)、化学机械抛光机、清洗机。 离子注
查看更多一、原料准备. 碳化硅的主要原料为高纯度的石墨和硅质原料。 石墨一般需要进行氧化、还原等处理,使其纯度达到要求。 硅质原料一般采用高纯度的二氧化硅或硅金属。 同时还需 碳化硅生产工艺流程 - 百度文库一、原料准备. 碳化硅的主要原料为高纯度的石墨和硅质原料。 石墨一般需要进行氧化、还原等处理,使其纯度达到要求。 硅质原料一般采用高纯度的二氧化硅或硅金属。 同时还需
查看更多2023年5月21日 国内主要设备厂家包括中国电子科技集团公司第四十五研究所、唐山晶玉和湖南宇晶等,国产设备在切割效率、加工精度、可靠性和工艺成套性等方面与国外设备有一定差距,100~150mmSiC晶体切割设备 造一颗SiC芯片,需要哪些关键设备?_工艺_碳化硅_ 2023年5月21日 国内主要设备厂家包括中国电子科技集团公司第四十五研究所、唐山晶玉和湖南宇晶等,国产设备在切割效率、加工精度、可靠性和工艺成套性等方面与国外设备有一定差距,100~150mmSiC晶体切割设备
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查看更多碳化硅的制造工艺涉及多个步骤,并需要专门的设备。 制造碳化硅粉末是制造过程的第一步。 可以通过多种方法进行,例如阿切森法,该方法涉及在电炉中加热硅砂和碳的混合物。 碳化硅的制造工艺与设备_百度文库碳化硅的制造工艺涉及多个步骤,并需要专门的设备。 制造碳化硅粉末是制造过程的第一步。 可以通过多种方法进行,例如阿切森法,该方法涉及在电炉中加热硅砂和碳的混合物。
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